산화물 반도체 물성 정보 추출 시스템

개요

산화물 반도체의 레시피 생성 Task에 필요한 데이터 수집 목적으로 해당 레시피에 들어가는 물성 정보를 산화물 반도체 논문에서 추출.

솔루션

산화물 반도체 논문에서 물성을 추출하는 LLM Agent 시스템 개발

수행 업무

• 공정(PVD, ALD) 분류 Agent와 각 공정에 최적화된 물성 추출 Agent를 투입하여 물질 당 30개 이상의 세부 물성 정보 추출
• 단순 추출 실패 시 포맷 검증 Agent가 JSON 문법 오류를 Refine하거나 Structure Forcing하는 다중 에러 복구 파이프라인 구현

결과 및 고찰

• ✓산화물 반도체 도메인 전문가가 라벨링한 테스트 케이스에서 물성 예측 성능 70% 달성
• ✓불규칙한 출력을 제어하는 3단계 에러 복구 파이프라인으로 견고한 Agent 시스템 설계 역량 확보